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在真空泵本體中,可存儲(chǔ)設(shè)置參數(shù),運(yùn)轉(zhuǎn)數(shù)據(jù)及異常歷史等。
※即使在維護(hù)階段更換控制器,也可實(shí)現(xiàn)全數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)移。
支持多種通信接口規(guī)格 (兼容EtherCAT通信協(xié)定)
適用于國(guó)際規(guī)格 CE/NRTL/SEMI-S2